[原创]搞微流体的人不多啊？

rocketeer · 发表于 2010-1-16 22:22:07

DRIE 要用很贵的仪器。。。

如果我这里有这个仪器，我也想试一试。。。

用DRIE 做的喷管，最大深度应该在 300 microns，其实微型喷管的深度越深越好。。。

还有 silicon 是热导体，热能的散出会减低微型喷管的 efficiency。

通流 · 发表于 2010-1-16 22:38:11

DRIE的设备不便宜。不过，这个300microns的最大深度是哪来的？如果DRIE加上bonding，2mm的深度也没有问题。

rocketeer · 发表于 2010-1-16 22:53:47

当去到一定的深度， etching rate 就会减低， wall 也会不直，对吗？300，我是从一份 AIAA journal 获知的。

顺便想问一问，用 DRIE， nozzle throat 最小可以到多少 micron？

通流 · 发表于 2010-1-16 23:03:28

假如300micron的话，宽度可以最小到十几个micron。如果宽度是50micron的话，可以把硅片刻穿。wall可以是直的，只是表面不太光滑。

别信AIAA Journal上面的胡说八道。你想知道具体情况的话，我可以帮你打听打听。

rocketeer · 发表于 2010-1-16 23:21:16

突然有个怪想法。。。 DRIE 可以 etch ceramic 吗？

毕竟在高温操作环境下，ceramic 是较适合的 material。

通流 · 发表于 2010-1-16 23:36:12

DRIE包含了化学反应。换材料，就得换刻蚀的化学品。并不是很容易的。刻碳化硅早就有，就是刻的速度太慢，所以没有普遍采用。你如果能想出办法，能提高刻蚀速度的话（大概要提高一到二个数量级），那你马上就成名了。不知氧化硅与碳化硅是不是类似。

[ 本帖最后由通流于 2010-1-16 23:38 编辑 ]

燕南飞ye · 发表于 2012-5-10 19:47:22

本人是搞微尺度流动，主要涉及生物、化学、医药、力学即计算数学方面的交叉领域，有兴趣的可以相互讨论一下哦

田间阡陌 · 发表于 2012-8-20 22:55:52

版主，我打算用微流体分析海啸对结构的作用，不知道从哪里下手啊？求指点一下。

JasonYang · 发表于 2013-5-10 15:21:43

DIRE深刻蚀设备我们有韩国的，目前还有一些德国LTF微流产品。

qshlht · 发表于 2014-3-19 09:58:57

我近期刚刚研究微流体方向，请给积极讨论，希望这个方向的人越来越多

通流 · 发表于 2014-4-4 22:34:58

微流体中，可研究的东西并不多。关键是找到应用。

liu12138 · 发表于 2018-1-31 10:15:44

刚开始了解这一块，想请教诸位有没有微流体观测，参数测定这一块的文献和资料啊

		自动登录	找回密码
密码			注册

[原创]搞微流体的人不多啊？

回复 15# 通流的帖子

回复 17# 通流的帖子

回复 19# 通流的帖子

有关微尺度流动

回复 11# 通流的帖子

微流体研究方向

站点信息

[原创]搞微流体的人不多啊？

回复 15# 通流 的帖子

回复 17# 通流 的帖子

回复 19# 通流 的帖子

有关微尺度流动

回复 11# 通流 的帖子

微流体研究方向

站点信息

回复 15# 通流的帖子

回复 17# 通流的帖子

回复 19# 通流的帖子

回复 11# 通流的帖子