微流体芯片 - mask

rocketeer

请问大家的微流体芯片是自己制作或者买的？用 glass, pdms, pmma?

我是用 soft lithography 自己制作，但是目前宽度只能去到 100 微米，可能是 mask 的关系。我的 mask 用普通打印机印在 transparency film，有什么方法可以进一步减少宽度？一定要用 chrome mask 吗？

请教请教！！

通流

搞个好点的打印机吧。我有不少搞MEMS的朋友，他们用打印机好像能做到10到20微米的量级。再好，你得找专业的做mask的地方，比较贵。一个mask几年前要几百到上千美元。

rocketeer

请教一下，他们都是用什么打印机和transparency film？ 我的打印机可以到 5760x1440 dpi， 但效果都不理想，我认为是transparency film 的问题。。。 有哪种 transparency film 适合高质量打印用的？？

高手赐教！！

通流

你那里离新加坡不远吧？像新加坡大学，那里应该有不少做MEMS的人。这个论坛里的大都是用商业软件的人。而且，国内MEMS虽然时髦，但真正做过整个流程的人很少。我也不太懂MEMS工艺。

黄黄

供应led制造用光刻胶--思的（CSSID）公司
思的公司是美国Futurrex公司的中国代表处，专业销售Futurrex公司的系列产品。Futurrex公司是国际知名的化学品供应商,公司始建于1985年，全球范围内供应光刻胶 、去胶液、显影液等产品。Futurrex公司的光刻胶具有高灵敏度，高对比度，高分辨率，易于处理，高纯度等众多优点，能够满足不同的膜厚需求。广泛用于LED、LCD、太阳能、IC等芯片加工方面。Futurrex公司有着广泛的客户群：德州仪器（TI），意法半导体（ST），3M，杜邦，LG，夏普，HP等。客户青睐的Futurrex产品有:NR9-3000PR1-4000A;NR9-8000P;NR5-8000; PR1-2000A; PR1-500A; NR4-8000P; PC3-6000; IC1-200; NR-20000P; PC4-10000;NR1-300PY; NR1-6000PY等!欢迎您来电垂询
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